| 发明名称 | 相位分析测量装置和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于通过相位分析检查物体的非接触方法和装置。投影仪将光学图案投射到待检查物体的表面上。然后获得所述光学图案投射到其上的表面的至少第一图像和第二图像。表面上的光学图案的相位通过将投影仪相对于物体移动而在第一图像和第二图像之间改变。 | ||
| 申请公布号 | CN101821579A | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
| 申请号 | CN200880111248.8 | 申请日期 | 2008.08.15 |
| 申请人 | 瑞尼斯豪公司 | 发明人 | 尼古拉斯·约翰·韦斯顿;伊冯娜·鲁思·赫德阿特;安德鲁·约翰·穆尔;蒂莫西·查尔斯·费瑟斯通 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/25(2006.01)I;G01C11/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 温旭;郝传鑫 |
| 主权项 | 一种用于通过相位分析检查物体的非接触方法，包括：i)投影仪将光学图案投射到待检查物体的表面上；以及ii)获取所述光学图案投射到其上的所述表面的至少第一图像和第二图像，其中，通过相对于所述物体移动所述投影仪，所述表面上的所述光学图案的相位在所述第一图像和所述第二图像之间改变。 | ||
| 地址 | 英国格洛斯特郡 | ||