发明名称 透明导电膜及其制造方法
摘要 本发明的透明导电膜是包含镁,选自碳、硅和硼的至少1种元素(A),氧和氢的膜。该透明导电膜可通过例如下述方法制造:使用包含镁的靶和包含选自碳、硅和硼的至少1种元素(A)的靶,在基板上形成包含镁和该元素(A)的膜,将该膜保持于含水气氛中。
申请公布号 CN101821819A 申请公布日期 2010.09.01
申请号 CN200880112109.7 申请日期 2008.10.10
申请人 学校法人东海大学;爱世古奈诺中部股份有限公司 发明人 久慈俊郎;千叶雅史;本城贵充;小户田小一郎
分类号 H01B5/14(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I 主分类号 H01B5/14(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 冯雅;胡烨
主权项 一种透明导电膜,其特征在于,包含镁,选自碳、硅和硼的至少1种元素(A),氧,氢。
地址 日本东京