发明名称 | 透明导电膜及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明的透明导电膜是包含镁,选自碳、硅和硼的至少1种元素(A),氧和氢的膜。该透明导电膜可通过例如下述方法制造:使用包含镁的靶和包含选自碳、硅和硼的至少1种元素(A)的靶,在基板上形成包含镁和该元素(A)的膜,将该膜保持于含水气氛中。 | ||
申请公布号 | CN101821819A | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
申请号 | CN200880112109.7 | 申请日期 | 2008.10.10 |
申请人 | 学校法人东海大学;爱世古奈诺中部股份有限公司 | 发明人 | 久慈俊郎;千叶雅史;本城贵充;小户田小一郎 |
分类号 | H01B5/14(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I | 主分类号 | H01B5/14(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 冯雅;胡烨 |
主权项 | 一种透明导电膜,其特征在于,包含镁,选自碳、硅和硼的至少1种元素(A),氧,氢。 | ||
地址 | 日本东京 |