具有微结构的模芯的制造方法

摘要

本发明涉及一种具有微结构的模芯，包括模版和设置在模版一面的微结构，模芯具有各向异性刻蚀率，微结构包括至少一个凸起或者至少一个凸条，凸起或凸条的侧面与模版底面之间的夹角相同。本发明还涉及一种具有微结构的模芯的制造方法，包括：在具有各向异性刻蚀率的模版上涂布光刻胶；在掩模板的遮掩下曝光模版上的光刻胶；去除模版上被曝光的光刻胶；刻蚀模版表面未被光刻胶覆盖的区域，形成具有至少一个凸起或者至少一个凸条的微结构；去掉模版表面上残留的光刻胶，形成具有微结构的模芯。本发明有效降低了制造具有微结构的模芯的成本，同时简化了模芯的制造方法。本发明有效降低了制造具有微结构的模芯的成本，同时简化了模芯的制造方法。

主权项

一种具有微结构的模芯的制造方法，其特征在于，包括：在具有各向异性刻蚀率的模版上涂布光刻胶；在掩模板的遮掩下曝光所述模版上的光刻胶；去除模版上被曝光的光刻胶；刻蚀所述模版表面未被光刻胶覆盖的区域，形成具有至少一个凸起或者至少一个凸条的微结构；去掉所述模版表面上残留的光刻胶，形成具有微结构的模芯；采用沉积、选涂或热压方法在所述微结构上形成金属层，制作出二次金属模芯。