多层陶瓷衬底及其制造方法

摘要

本发明的目的是，在具有内部导体的多层陶瓷衬底中确实消除内部导体周围产生的缺陷。本发明提供了由多个玻璃陶瓷层叠层并具有内部导体的多层陶瓷衬底。内部导体周围的玻璃陶瓷层含有选自Ti、Zr、Mn中的至少1种作为扩散元素。内部导体以Ag作为导电材料。这样的多层陶瓷衬底的制造方法是，向导电糊中添加选自Ti、Zr、Mn中的至少1种作为扩散元素，烧成时使这些扩散元素扩散到周围的玻璃陶瓷生坯片中。

主权项

多层陶瓷衬底，由多个玻璃陶瓷层叠层并具有内部导体，其特征在于，在所述内部导体的至少一部分中，至少内部导体周围的玻璃陶瓷层含有选自Ti、Zr、Mn中的至少1种作为扩散元素，所述扩散元素以氧化物的形态存在，所述扩散元素存在的区域是距所述内部导体的距离为100μm以下的区域，在所述扩散元素存在的区域中，玻璃陶瓷层中的所述扩散元素的含量换算成氧化物是0.1质量％～50质量％。