发明名称 气体输送装置
摘要 本实用新型公开了一种气体输送装置,其包括箱体、箱盖及管道组,箱体具有中空结构的储气腔,管道组安装于储气腔内,其管道组包括第一管道组件及第二管道组件,第一管道组件包括若干相互平行排列的第一管道,第一管道的自由端呈密封状,且两侧面上开设有若干第一气孔;第二管道组件包括与第一管道相同数量且相互平行排列的第二管道,第二管道的自由端呈密封状,且两侧面上开设有若干第二气孔;第一管道与第二管道相互交叉且等间距地排列在同一平面,且第一管道与第二管道的气流方向相反,第一气孔与第二气孔的轴向均与通气孔的轴向垂直,且第一气孔与第二气孔位于同一平面。本实用新型气体输送装置能提供均匀气体且结构简单,生产成本低。
申请公布号 CN201568736U 申请公布日期 2010.09.01
申请号 CN200920274210.4 申请日期 2009.12.01
申请人 东莞宏威数码机械有限公司 发明人 范振华
分类号 F17D1/04(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 F17D1/04(2006.01)I
代理机构 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人 张艳美;郝传鑫
主权项 一种气体输送装置,适于与供气装置的输出管连通,所述气体输送装置包括箱体、箱盖及管道组,所述箱体呈中空结构,所述中空结构形成储气腔,所述箱盖密封盖于所述储气腔上,所述箱盖上均匀开设有若干与储气腔连通的通气孔,所述管道组安装于所述储气腔内,其特征在于:所述管道组包括第一管道组件及第二管道组件,所述第一管道组件及第二管道组件分别与所述供气装置的输出管连通;所述第一管道组件包括若干相互平行排列的第一管道,所述第一管道的自由端呈密封状,且两侧面上开设有若干第一气孔;所述第二管道组件包括与所述第一管道相同数量且相互平行排列的第二管道,所述第二管道的自由端呈密封状,且两侧面上开设有若干第二气孔;所述第一管道与所述第二管道相互交叉且等间距地排列在同一平面,且所述第一管道与所述第二管道的气流方向相反,所述第一气孔与所述第二气孔的轴向均与所述通气孔的轴向垂直,且所述第一气孔与所述第二气孔位于同一平面。
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