7N电子级超纯氨的纯化方法

摘要

本发明公开了一种电子级超纯氨的纯化方法，原料液氨经过进行间歇性汽化、除油、深度除水吸附干燥、ppb级精馏塔分离轻重组、终端纯化的工艺步骤，可以得到NH3纯度在99.99999％以上的超纯氨，并可广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。

主权项

一种7N电子级超纯氨的纯化方法，其特征是其工艺步骤为：1)原料液氨送入汽化器：通过液氨泵将纯度为99.8％且含油量较少的工业液氨送入汽化器；2)间歇性精密汽化：汽化器采用两个并联，间歇汽化，精密控制液氨蒸发，将汽化后的氨气中的水份含量控制在工业液氨中水份含量的1％以下；3)高效除油：汽化后的氨气进入高效除油器，将油份降至0.1ppm以下；4)深度吸附干燥：除油后的氨气再经过深度除水吸附干燥，将氨气中水份含量控制在1ppm以内；5)ppb级精馏：干燥后的氨气经过ppb级精馏塔可将液氨中的轻重组分进一步分离除去，轻组分在塔顶冷凝器排放，可使氨中H2、O2、N2、Ar、CH4、CO、CO2等降至10ppb以下，重组分在塔底排出至废氨罐，可使氨中金属离子降至ppt数量级；6)氨气终端纯化：最后氨气进入终端纯化器进行深度除水，终端纯化器中采用锆钒铁合金作为吸气剂，可使纯化后的产品氨中水份含量控制在1ppb以下。