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发明名称
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PATTERN FORMING MATERIAL, PHOTOSENSITIVE LAMINATE, PATTERN FORMING APPARATUS AND METHOD OF PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号
EP1780599(A4)
申请公布日期
2010.09.01
申请号
EP20050765789
申请日期
2005.07.14
申请人
ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION
发明人
TASHIRO, TOMOKO;SATO, MORIMASA;SASAKI, YOSHIHARU;WAKATA, YUICHI;TAKAYANAGI, TAKASHI
分类号
G03F7/028;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/031;H01L21/027
主分类号
G03F7/028
代理机构
代理人
主权项
地址
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