一种金刚石线锯精密切割过程实时纠偏方法

摘要

一种金刚石线锯精密切割过程实时纠偏方法，属于大尺寸人工晶体的精密切割加工技术领域。其特征是使用光电位置检测元件，实时检测金刚石线锯位置偏移量，并反馈给计算机控制系统，控制工作台做出相应的位置、角度调整，从而使线锯向降低切割偏差的方向移动，实现切割纠偏。本发明的效果和益处在于采用非接触式的线锯位置检测和线锯纠偏动作，可以避免对线锯的接触式检测和纠偏所带来的磨损；另外，本发明所采用的基于偏差反馈的纠偏策略，较之通过提高机床精度以降低切割跑偏的方法，可以在不显著提高线锯切割系统造价的同时，对大尺寸工件的线锯精密切割获得良好的纠偏效果。理论上本发明可以得到17μm的最高纠偏精度。

主权项

一种金刚石线锯精密切割过程实时纠偏方法，使用光电位置检测元件构成的纠偏控制系统，实时检测金刚石线锯位置偏移量，并反馈给控制系统，控制切割机床工作台做出相应的位置、角度调整，以实现切割纠偏，其特征在于：(a)纠偏控制系统使用线阵CCD或者面阵CCD光电传感器作为线锯位置偏差检测元件，且所述传感器沿着线锯分别放置于工件上、下表面，并贴近工件；(b)纠偏控制算法基于工件原始切割面位置的记忆，纠偏以线锯回归到该零点位置为目标；(c)切割纠偏动作是基于工作台以下三种动作：1)角度调整；2)平移；3)角度调整结合平移。