一种薄膜式热流密度传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种热流密度传感器，特别是关于一种薄膜式热流密度传感器以及制造方法。所述薄膜式热流密度传感器包括基底、第一热阻材料、第二热阻材料、热电极A与热电极B组成的热电堆以及引出线，所述热电极A和热电极B相互交错排列组成热电堆，所述热电堆上覆盖有热阻材料，且热电堆高温端上的热阻材料厚度小于热点堆低温端的热阻材料厚度。本发明薄膜式热流密度传感器及其制造方法通过真空离子溅射的方式直接在热阻材料基底上制作热电极A和热电极B，并通过由热电偶串联而成的热电堆测量温差电动势。因此效率高，成本较低，而且制造简单，能方便地实现对热流值的测量，精度较高，具有较大的实际应用价值。

主权项

一种薄膜式热流密度传感器，其特征在于：包括基底、第一热阻材料、第二热阻材料、热电极A与热电极B组成的热电堆以及引出线，所述热电极A和热电极B相互交错排列组成热电堆，所述热电堆上覆盖有热阻材料，且热电堆高温端上的热阻材料厚度小于热点堆低温端的热阻材料厚度，所述引出线为测量线，分别从热电极A和热电极B的末端引出。