METHOD FOR PRODUCING WAFER,申请号EP20070743143-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PRODUCING WAFER
摘要
申请公布号	EP2033739(A4)	申请公布日期	2010.09.01
申请号	EP20070743143	申请日期	2007.05.11
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.	发明人	KATO, TADAHIRO
分类号	B24B9/06;B24B49/03;B24B49/18;H01L21/304	主分类号	B24B9/06
代理机构		代理人
主权项
地址