硅片线切割机的张紧装置

摘要

硅片线切割机的张紧装置，涉及一种硅片线切割机，包括压柄、压柄轴和张紧辊轮，张紧辊轮的两端各设有一个压柄，两个压柄的下端通过压柄轴连接，两个压柄分别通过一个弹性压紧机构与线切割机构的固定框架连接；张紧辊轮由芯轴、橡胶体和挡圈组成，橡胶体敷着在芯轴的圆周面上，橡胶体厚度为8-15mm，邵氏硬度为70-90度；弹性压紧机构由棘轮、棘爪和扭转弹簧组成，棘轮设置在固定框架上，棘轮的棘轮轴上设有扭转弹簧，扭转弹簧的两端分别与棘轮和压柄连接；所述的张紧辊轮设置在压柄上的轴承套内。有益效果是：结构简单，成本低，更换维修方便；切割线有均衡、弹性的张紧力，提高了切割机的切片质量和产品成品率。

主权项

硅片线切割机的张紧装置，包括压柄(2)、压柄轴(3)和张紧辊轮(4)，其特征在于：张紧辊轮(4)的两端各设有一个压柄(2)，两个压柄(2)的下端通过压柄轴(3)连接，两个压柄(2)分别通过一个弹性压紧机构与线切割机构的固定框架(9)连接。