一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置

摘要

一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置，其包括放电规管、真空度传感单元、数据接收单元，其中，放电规管放电空间通过真空开关对应真空灭弧室静导电杆内的排气管连通相应真空灭弧室内腔；真空度传感单元包括微处理器、脉冲高压发生电路、信号处理电路和通讯接口电路，脉冲高压发生电路的高压脉冲输出端两端子分别用于连接真空开关中各真空灭弧室静导电杆相应放电规管的阳极、阴极，信号处理电路的信号输入端用于接收放电规管放电电流，信号处理电路的信号输出端连接所述微处理器的信号输入端，微处理器的信号输出端分别对应连接脉冲高压发生电路的信号输入端，通讯接口电路输入端，通讯接口电路输出端与数据接收单元相连。

主权项

一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置，其特征在于：其包括用于分别对应集成在真空开关三个真空灭弧室静导电杆末端的三个放电规管、真空度传感单元、数据接收单元，其中，各放电规管放电空间通过真空开关对应真空灭弧室静导电杆内的排气管连通相应真空灭弧室内腔；所述真空度传感单元包括微处理器、脉冲高压发生电路、信号处理电路和通讯接口电路，其中，脉冲高压发生电路的高压脉冲输出端两端子分别用于连接真空开关中各真空灭弧室静导电杆相应放电规管的阳极、阴极，信号处理电路的信号输入端用于接收放电规管阴极、阳极之间的放电电流，信号处理电路的信号输出端连接所述微处理器的信号输入端，微处理器的信号输出端分别对应连接脉冲高压发生电路的信号输入端、通讯接口电路的输入端，通讯接口电路的输出端连接数据接收单元的信号输入端。