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发明名称 Bi-directional filtered arc plasma source
摘要
申请公布号 EP1852891(A3) 申请公布日期 2010.09.01
申请号 EP20070005608 申请日期 2007.03.19
申请人 VAPOR TECHNOLOGIES, INC. 发明人 WELTY, RICHARD P.
分类号 H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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