用于生产线的管理系统和管理方法

摘要

本发明涉及用于生产线的管理系统和管理方法，具体用于构造一个CIM系统，该系统能够减轻计算机主机的负担，并且能够由基片单元通知加工条件以及由基片单元通知工作的一条启动指令。本发明中，在每个生产装置里而不是在一个计算机主机里，对应用于每个基片的一个加工工艺进行管理。一个或多个被编号的加工工艺被存储在每个生产装置中。通过上述结构，即使对一个加工工艺的制定和一个生产装置工作的一条指令通过基片单元而不是通过载体单元来管理，也由于没有必要在该计算机主机中处理用于每个基片的一个加工方法的具体内容，从而可以减轻该计算机主机的负担。

主权项

一种用于存储多个基片的载体，包括：所述载体中的多个插槽；能够重写所述载体的ID数据的存储装置。