发明名称 多层铜铟镓硒(硫)光吸收前驱层制造方法
摘要 本发明是有关于一种多层铜铟镓硒(硫)光吸收前驱层制造方法,为一种非真空制作方法,用以在非真空下一钼层上形成多层均匀的光吸收前驱层。其主要利用调配铜铟镓硒(硫)浆料时,除了原始使用正常比例的铜铟镓硒(硫)化合物以外,另外添加过量VIA族元素粉末,除可补充VIA族元素的含量外,也可以取代原使用的界面活性剂和接着剂,将浆料涂布成两层以上涂层可使含IB/IIIA/VIA的化合物易于进行扩散和反应,另将IA-IIIA族化合物(例如NaIn)加入铜铟镓硒(硫)吸收层中,可调整光吸收层的能带宽,以吸收更多光能。
申请公布号 CN101820024A 申请公布日期 2010.09.01
申请号 CN201010111482.X 申请日期 2010.02.11
申请人 昆山正富机械工业有限公司 发明人 陈文仁;杨益郎;林群福
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人 寿宁;张华辉
主权项 一种多层铜铟镓硒(硫)光吸收前驱层制造方法,为一种非真空制作方法,用以在非真空下一钼层上形成多层均匀的光吸收前驱层,其特征在于其包括以下步骤:(1)首先,依据配方比例,调配含IB、IIIA及VIA族元素的二成份、三成份或四成份粉末以形成二份相同含铜铟镓硒(硫)原始混合粉末,其中该IB族元素包括铜,该IIIA族元素包括铟或镓或铟镓混合材料,该VI族元素可为硒或硫或硒硫混合材料;(2)其次加入IA-IIIA化合物至该含铜铟镓硒(硫)原始混合粉末中,并进行混合以形成一第一含铜铟镓硒(硫)最后混合粉末;(3)再将另一份含铜铟镓硒(硫)原始混合粉末以原始VIA元素比例,添加额外的VIA族元素粉末至该含铜铟镓硒(硫)原始混合粉末中,并进行混合以形成一第二含铜铟镓硒(硫)最后混合粉末;(4)接着将第一和第二含铜铟镓硒(硫)最后混合粉末分别以纳米球磨机,先配合大尺寸研磨球和低温溶剂进行粗磨,再配合小尺寸研磨球细磨,以使研磨成第一含铜铟镓硒(硫)纳米浆料和第二含铜铟镓硒(硫)纳米浆料;(5)再将第一含铜铟镓硒(硫)纳米浆料涂布在钼层上,形成第一铜铟镓硒(硫)层;(6)再将第二含铜铟镓硒(硫)纳米浆料涂布在第一铜铟镓硒(硫)层上形成第二铜铟镓硒(硫)层;(7)最后软烤使溶剂挥发形成多层铜铟镓硒(硫)光吸收前驱层。
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