发明名称 |
一种微纳结构硅材料的制备系统与制备方法 |
摘要 |
一种微纳结构硅材料的制备系统,特点是:反射镜、连续可调衰减片、光快门、透镜和三维调整台固定在光学平台上,不锈钢长腔真空室安装在三维调整台上,不锈钢长腔真空室前端有窗片,其内部的后表面粘贴有硅片,外部与真空室充气管道连接,所述管道上设置有两个微调阀,光快门通过导线与脉冲计数器连接。通过连续可调衰减片调节入射激光功率,配合使用脉冲计数器准确控制蚀刻的脉冲数量,并利用微调阀门调节真空室内气体压强,最终实现各种不同形貌的微纳结构硅材料的形成。本发明生产工艺简单,操作便捷,所得微纳结构的硅材料具有跨度超过2500nm的吸收光谱,且反射率低于10%。 |
申请公布号 |
CN101819927A |
申请公布日期 |
2010.09.01 |
申请号 |
CN201010146042.8 |
申请日期 |
2010.04.13 |
申请人 |
上海理工大学 |
发明人 |
朱亦鸣;彭滟;温雅;阮邵崧;许丽兰;张大伟;陈麟;曹剑炜;倪争技;庄松林 |
分类号 |
H01L21/268(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B23K26/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/268(2006.01)I |
代理机构 |
上海东创专利代理事务所(普通合伙) 31245 |
代理人 |
宁芝华 |
主权项 |
一种微纳结构硅材料的制备系统,包括钛宝石飞秒激光器、反射镜、连续可调衰减片、光快门、透镜、不锈钢长腔真空室和三维调整台,其特征在于:反射镜、连续可调衰减片、光快门、透镜和三维调整台固定在光学平台上,不锈钢真空室安装在三维调整台上,所述的不锈钢真空室前端设置有窗片,不锈钢长腔真空室内部的后表面粘贴有硅片,不锈钢长腔真空室与外部的真空室充气管道连接,所述的真空室充气管道上设置有两个微调阀,光快门通过导线与脉冲计数器连接。 |
地址 |
200093 上海市军工路516号 |