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发明名称
摘要
申请公布号 JP4537479(B2) 申请公布日期 2010.09.01
申请号 JP20080305566 申请日期 2008.11.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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