一种纳米尺度间隙电极对阵列及其制备方法

摘要

本发明提供了一种纳米尺度间隙电极对阵列及其制备方法，属于分子电子器件制备技术领域。本发明利用氧化还原反应，在碳纳米管表面上形成金属颗粒阵列；然后用氧等离子体轰击，将金属颗粒之间的碳纳米管全部或部分去除掉，即可获得纳米尺度间隙电极对阵列。本发明操作简单，工艺可靠、可控性好、成本低。通过后续的分子原子或纳米结构材料的组装技术，可较容易地实现纳米尺度(包括分子或原子尺度)的电子器件阵列。

主权项

一种纳米尺度间隙电极对阵列，其特征在于，在碳纳米管表面上排列有金属颗粒阵列，金属颗粒间距为1-500纳米之间，上述金属颗粒之间的碳纳米管全部或部分被除掉，形成纳米尺度间隙的电极对阵列。