化学放大正性抗蚀剂组合物、卤代酯衍生物及其生产方法

摘要

本发明提供一种化学放大正性抗蚀剂组合物，它包括(A)树脂和(B)酸生成剂，而所述(A)树脂包括如下结构单元：(i)选自由式(IV)和(V)结构单元组成的组中的至少一种结构单元，(ii)式(I)的结构单元，(iii)式(II)的结构单元。本发明也提供一种式(XXI)的卤代酯衍生物以及生产该衍生物的方法。

主权项

1.一种化学放大正性抗蚀剂组合物，它包括：(A)树脂和(B)酸生成剂，而所述(A)树脂包括如下结构单元：(i)选自由式(IV)和(V)结构单元组成的组中的至少一种结构单元其中X³和X⁴各自独立表示氢原子、具有1～4个碳原子的烷基或具有1～4个碳原子的全氟烷基，Z³和Z⁴各自独立表示具有1～12个碳原子的二价烃基，n³和n⁴各自独立表示0～3的整数，R²和R³各自独立表示羟基或羟甲基，G表示-(CO)O-或-O-，R⁴表示具有1～4个碳原子的烷基或具有1～4个碳原子的烷氧基，而p和q各自独立表示0～2的整数，(ii)式(I)的结构单元其中X表示氢原子、具有1～4个碳原子的烷基或具有1～4个碳原子的全氟烷基，Z表示具有1～12个碳原子的二价烃基，R表示具有1～6个碳原子的烷基，而m表示0～2的整数，和(iii)式(II)的结构单元其中X¹表示氢原子、具有1～4个碳原子的烷基或具有1～4个碳原子的全氟烷基，Z¹表示具有1～12个碳原子的二价烃基，n¹表示0～3的整数，R¹表示具有1～6个碳原子的烷基或具有3～12个碳原子的环烷基，而Y表示与邻接碳原子一起形成脂环烃基所需要的至少两个原子。