| 发明名称 | 用于检查基板的表面的测量装置和测量系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于通过测量头(110)来检查基板(190)的表面的测量装置，该测量头具有用于检测表面的传感器(111)和设置在传感器旁侧的气动件(112)，该气动件包括入口(115)和至少一个向下取向的出口(114)。此外，测量装置还具有：面定位系统(220)，其被设置用来将测量头(110、210)精确地定位在基板(190)之上的x-y平面内；以及压力空气生成装置(250)，其与入口(215)气动地耦合，从而在用压力空气加载气动件(112、212)时，测量头(110、210)可以预设的高度定位在基板(190)上方并且在气垫上滑动。此外，本发明还涉及一种具有多个前述类型的测量装置的测量系统，该系统这样地彼此相对设置，即各个传感器形成测量行。 | ||
| 申请公布号 | CN101273245B | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
| 申请号 | CN200680035452.7 | 申请日期 | 2006.09.19 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | 弗朗茨·德罗布纳;特奥多罗·龙鲍尔 |
| 分类号 | G01B13/16(2006.01)I | 主分类号 | G01B13/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 章杜杲;吴贵明 |
| 主权项 | 一种用于检查基板(190)的表面的测量装置，具有：测量头(110)，所述测量头具有：传感器(111)，用于检测所述表面；在所述传感器(111)旁侧设置的气动件(112)，所述气动件包括入口(115)和至少一个向下取向的出口(114)；面定位系统(220)，设置用来将测量头(110、210)精确地定位在所述基板(190)之上的x-y平面内；以及压力空气生成装置(250)，所述压力空气生成装置与入口(115、215)气动地耦合，从而在用压力空气加载气动件(112、212)时，所述测量头(110、210)可以预设的高度定位在所述基板(190)上方，所述测量装置附加地具有设置在所述面定位系统(220)与所述测量头(110、210)之间的耦合装置(130、230)。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||