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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, AND ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR20100096084(A) 申请公布日期 2010.09.01
申请号 KR20107010297 申请日期 2008.12.26
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD. 发明人 TAKADA TOMOYUKI;YAMANAKA SADANORI;HATA MASAHIKO
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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