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发明名称 STABILIZED OSCILLATOR CIRCUIT FOR PLASMA DENSITY MEASUREMENT
摘要
申请公布号 EP1232513(B1) 申请公布日期 2010.09.01
申请号 EP20000948743 申请日期 2000.07.20
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SIRKIS, MURRAY, D.;VERDEYEN, JOSEPH, T.
分类号 H01L21/3065;H05H1/00;H05H1/46 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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