发明名称 一步法制备单晶硅太阳能电池绒面的方法
摘要 本发明公开了一步法制备单晶硅太阳能电池绒面的方法,将单晶硅片置入混合液中,在80~85℃条件下浸泡腐蚀10~30分钟,在单晶硅片表面形成绒面,所述的混合液的体积百分比组成为:15%~20%的NaClO、10%~15%的C2H5OH和余量的水。本发明方法制备单晶硅片绒面可以减少工艺步骤,降低制作成本,提高经济效率。本发明操作简单,设备与常规的制绒工艺兼容,适宜于大规模工业生产。
申请公布号 CN101818348A 申请公布日期 2010.09.01
申请号 CN201010138362.9 申请日期 2010.04.02
申请人 浙江大学 发明人 唐九耀;蒋晓燕;孙林峰
分类号 C23F1/24(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C23F1/24(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 胡红娟
主权项 一步法制备单晶硅太阳能电池绒面的方法,其特征在于,将单晶硅片置入混合液中,在80~85℃条件下浸泡腐蚀10~30分钟,在单晶硅片表面形成绒面,所述的混合液的体积百分比组成为:15%~20%的NaClO、10%~15%的C2H5OH和余量的水。
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