一种三维柔性神经微电极及制作方法

摘要

本发明公开了一种三维柔性神经微电极及其制作方法，该微电极利用柔性聚合物作为基底材料，通过金属种子层的环状图案设计，进行递进式电镀，形成具有圆滑三维凸起特征的电极位点结构，该结构既可保证电极位点与神经细胞的良好接触，同时又可避免现有三维神经微电极中凸起电极位点的锐利棱角对神经组织的损伤。另外，在电镀过程中通过复合电镀工艺，即电镀液中添加纳米级分散剂，使电极表面形成亚微米级的微孔结构，增加电极位点的表面积，从而增强电极的电流输出能力，保证神经微电极在生物安全性条件限制下的有效刺激。本发明提供的三维柔性神经微电极可广泛应用于神经疾病治疗、神经康复、神经生物学基础研究等领域。

主权项

一种三维柔性神经微电极，其特征在于：1)包含至少一个电极位点区域、一个连线区域和一个焊接点区域；2)微电极的基底材料为聚合物材料；3)电极位点区域包含至少一个具有圆滑三维凸起特征的金属电极位点；4)电极位点表面具有粗糙微孔结构。