| 发明名称 |
MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS CONTAINING OXIDIZERS AND ORGANIC SOLVENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RS50930(B) |
申请公布日期 |
2010.08.31 |
| 申请号 |
YU2004P001062 |
申请日期 |
2003.05.27 |
| 申请人 |
AVANTOR PERFORMANCE MATERIALS INC. |
发明人 |
HSU CHIEN-PIN,SHERMAN |
| 分类号 |
G03F7/42;C11D1/00;C11D3/20;C11D3/24;C11D3/28;C11D3/33;C11D3/34;C11D3/39;C11D7/06;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;C23G1/06;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/311 |
主分类号 |
G03F7/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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