METHOD FOR DEPOSITING AN AMORPHOUS CARBON FILM WITH IMPROVED DENSITY AND STEP COVERAGE,申请号KR20070064292-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR DEPOSITING AN AMORPHOUS CARBON FILM WITH IMPROVED DENSITY AND STEP COVERAGE
摘要
申请公布号	KR100978704(B1)	申请公布日期	2010.08.31
申请号	KR20070064292	申请日期	2007.06.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/20	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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