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经营范围
发明名称
ROTATING SUBSTRATE SUPPORT AND METHODS OF USE
摘要
申请公布号
KR100979329(B1)
申请公布日期
2010.08.31
申请号
KR20077030109
申请日期
2006.05.31
申请人
发明人
分类号
C23C16/458;C23C16/00
主分类号
C23C16/458
代理机构
代理人
主权项
地址
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