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发明名称 CAPACITIVELY COUPLED PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 KR100979186(B1) 申请公布日期 2010.08.31
申请号 KR20070106348 申请日期 2007.10.22
申请人 发明人
分类号 H05H1/34;H05H1/30 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
主权项
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