发明名称 SUBSTRATE TRANFERRING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100978854(B1) 申请公布日期 2010.08.31
申请号 KR20080052107 申请日期 2008.06.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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