| 摘要 |
1. Система (100) детектирования для детектирования мест люминесценции на подложке (6), система (100) детектирования содержит: ! блок (102) излучения для формирования, по меньшей мере, одного пучка излучения возбуждения для возбуждения мест люминесценции на подложке (6), ! первый оптический элемент (25), приспособленный для приема, по меньшей мере, двух пучков излучения разных длин волн или диапазона длин волн, по меньшей мере, два пучка излучения являются пучком(ами) излучения возбуждения, который должен фокусироваться на подложке, и/или пучком(ами) излучения люминесценции, который должен собираться из возбужденных мест люминесценции на подложке (6), и ! оптический компенсатор для настройки, по меньшей мере, одного из, по меньшей мере, двух пучков излучения разных длин волн или диапазона длин волн, с тем, чтобы, по меньшей мере, частично компенсировать оптические аберрации. ! 2. Система (100) детектирования по п.1, в которой упомянутый блок (102) излучения приспособлен для формирования, по меньшей мере, двух пучков излучения возбуждения разной длины волны или диапазона длин волн, упомянутый оптический элемент (25) приспособлен для приема упомянутых, по меньшей мере, двух пучков излучения возбуждения. ! 3. Система (100) детектирования по п.1, в которой упомянутый оптический компенсатор (5) привносит, по меньшей мере, фазовый сдвиг в один из упомянутых пучков излучения. ! 4. Система (100) детектирования по п.2, в которой оптический компенсатор (5) может привносить, по меньшей мере, фазовый сдвиг в один из упомянутых пучков излучения возбуждения для фокусировки упомянутого пучка(ов) излучения возбуждения в одном и том же фокусе на подложке. ! 5. Сис� |
