| 摘要 |
1. Способ изготовления чувствительного элемента датчика давления жидких и газообразных сред, заключающийся в нанесении на стеклянную подложку фиксированного электрода, выполнении подвижного электрода и их соединении, отличающийся тем, что наносят метки совмещения на стеклянную подложку и подвижный электрод, выполненный в виде кремниевой пластины ориентации (100), на которой формируют рельефы различной глубины двухэтапным анизотропным травлением кремния через маску из нитрида кремния одновременно с обеих сторон пластины, соединение элементов осуществляют методом анодного сращивания. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что анизотропное травление проводят водным раствором КОН с концентрацией 33% при температуре (92±2)°С. |
