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发明名称 SUBSTRAT CHAUFFAGE DOPE
摘要
申请公布号 FR2914488(B1) 申请公布日期 2010.08.27
申请号 FR20070054175 申请日期 2007.03.30
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 LANGER ROBERT;LAHRECHE HACENE
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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