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发明名称 Multistrahlmodulator für einen Partikelstrahl und Verwendung des Multistrahlmodulators zur maskenlosen Substratsstrukturierung
摘要
申请公布号 DE102004052994(C5) 申请公布日期 2010.08.26
申请号 DE200410052994 申请日期 2004.11.03
申请人 VISTEC ELECTRON BEAM GMBH 发明人 DOERING, HANS-JOACHIM;HEINITZ, JOACHIM
分类号 H01J37/30;G03F7/20;H01J37/09;H01J37/317 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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