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发明名称 Chemical Vapor Deposition Apparatus and Separation Type Shower Head thereof
摘要
申请公布号 KR20100008463(U) 申请公布日期 2010.08.26
申请号 KR20090001759U 申请日期 2009.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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