发明名称 Apparatus of inspecting electric condition, method of manufacturing the same, assembly for interfacing electric signal of the same, and method for interfacing electric signal of the same
摘要
申请公布号 KR100978233(B1) 申请公布日期 2010.08.26
申请号 KR20080045977 申请日期 2008.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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