硅片吹干系统

摘要

本实用新型涉及一种硅片吹干系统，包括在吹干槽上开设的进片口与出片口，在吹干槽的内壁转动架设有下辊轴与上辊轴，下辊轴上设有下辊轮，在上辊轴上设有上辊轮，下辊轮与上辊轮之间形成输送辊道，在上辊轮的上方固定架设有上吹干风刀管，上吹干风刀管上开设有上部出气孔，所述上吹干风刀管与上压缩空气输入管相接，在上压缩空气输入管上安装有上压力调节阀，在下辊轮的下方固定架设有下吹干风刀管，下吹干风刀管上开设有下部出气孔，所述下吹干风刀管与下压缩空气输入管相接，在下压缩空气输入管上安装有下压力调节阀。本实用新型工作时，去掉了吹干风刀管的扰动，实现每把风刀单独可控，最终达到减少碎片的目的。

主权项

一种硅片吹干系统，包括在吹干槽(1)上开设的进片口(2)与出片口(3)，在吹干槽(1)的内壁转动架设有下辊轴(4)与上辊轴(5)，下辊轴(4)上设有下辊轮(6)，在上辊轴(5)上设有上辊轮(7)，下辊轮(6)与上辊轮(7)之间形成输送辊道，其特征是：所述上辊轮(7)的上方固定架设有可单独控制流量的多个上吹干风刀管(8)，所述下辊轮(6)的下方固定架设有可单独控制流量的多个下吹干风刀管(12)。