双光束干涉可调增益激光写入滤波方法与装置

摘要

本发明公开了一种双光束干涉可调增益激光写入滤波装置，其包括分光装置、第一位相调制装置、第二位相调制装置、固定反射装置、可调反射装置、以及可调聚焦物镜。本发明的良好效果在于：实现激光写入光斑横向主瓣宽度和轴向焦深范围可调节写入，在工作过程中根据所需制作元件的结构特点改变横向或轴向光斑强度分布特性，有利于兼顾激光写入品质和写入效率。

主权项

一种双光束干涉可调增益激光写入滤波装置，其包括：分光装置，用于将入射的光分解为等能量且相互正交的第一反射光束和第一透射光束；第一位相调制装置，用于对第一反射光束进行调制，使其具有第一位相调制装置的相位信息；第二位相调制装置，用于对第一透射光束进行调制，使其具有第二位相调制装置的相位信息；固定反射装置，设置于第二位相调制装置所在光路，用于将第一透射光束反射回分光装置；可调反射装置，设置于第一位相调制装置所在光路，用于将第一反射光束反射回分光装置，并且通过调整可调反射装置与第一位相调制装置的距离，调整第一透射光束与第一反射光束的初始相位差，以及连续调整激光写入光斑的横向线宽以及激光写入光斑的轴向焦深；可调聚焦物镜，接收由分光装置合成的第一反射光束和第一透射光束，并将第一反射光束和第一透射光束聚焦至直写平面，形成激光写入光斑；其中，通过调节聚焦物镜在光传播方向的位置，实现激光写入光斑聚焦瞄准。