一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽

摘要

一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽，包括槽体、加热管、支撑平板、硅片承载器，在支撑平板的左右两端分别开有左缺口和右缺口，支撑平板架设在槽体内，并与槽体底面形成一个空腔，所述加热管安装在槽体内壁上，且位于左缺口或右缺口的上方，硅片承载器放置在支撑平板上。当腐蚀槽加热时，腐蚀液从加热管的缺口垂直于承载器的方向流动，沿着支撑平板的缺口流到支撑平板下面的空腔中，再沿着靠近加热管的缺口上升继续加热，如此不断循环。这样，整个硅片表面的受热均匀，腐蚀液流动均匀，腐蚀速度均匀，绒面结构一致。

主权项

一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽，包括槽体(1)、加热管(2)、支撑平板(3)、硅片承载器(4)，支撑平板(3)架设在槽体(1)内，并与槽体底面(7)形成一个空腔(9)，硅片承载器(4)放置在支撑平板(3)上，硅片(10)插装在硅片承载器(4)上，其特征是：在支撑平板(3)的两端开有左缺口(5)和右缺口(6)，所述加热管(2)安装在槽体内壁(8)上，且位于左缺口(5)或右缺口(6)的上方，腐蚀槽中所用的腐蚀液由氢氧化钠或氢氧化钾、水、消泡剂混合而成。