| 发明名称 | 研磨头组件的清洗装置以及化学机械研磨设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭露了一种研磨头组件的清洗装置以及化学机械研磨设备，所述清洗装置包括清洗管以及由所述清洗管上引出的多个清洗喷头，所述清洗喷头与所述研磨头以及研磨头支架相匹配，使得所述清洗喷头喷出的清洗液不仅能够清洗所述研磨头，并且可以去除所述研磨头支架上残留的研磨液，提高了清洗效率，从而提高了产品的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN201559124U | 申请公布日期 | 2010.08.25 |
| 申请号 | CN200920210688.0 | 申请日期 | 2009.10.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 曹开玮;詹明松;王怀锋;余文军 |
| 分类号 | B24B55/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B24B37/04(2006.01)I | 主分类号 | B24B55/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种研磨头组件的清洗装置，该研磨头组件包括研磨头支架以及与所述研磨头支架连接且位于所述研磨头支架下方的多个研磨头，其特征在于，所述清洗装置包括清洗管以及由所述清洗管上引出的多个清洗喷头，所述清洗喷头与所述研磨头以及研磨头支架相匹配，使得所述清洗喷头喷出的清洗液能够清洗所述研磨头以及研磨头支架。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||