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发明名称 CLEANING METHODS FOR SILICON ELECTRODE ASSEMBLY SURFACE CONTAMINATION REMOVAL
摘要
申请公布号 EP1839330(A4) 申请公布日期 2010.08.25
申请号 EP20050854223 申请日期 2005.12.15
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 REN, DAXING;SHIH, HONG
分类号 H01L21/302;C11D7/10;C11D7/26;C11D11/00;C23G1/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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