被测光学元件的旋转保持装置

摘要

本发明提供一种被测光学元件的旋转保持装置，吸引管以不卷绕在吸引保持被测光学元件的旋转保持部件的方式连接吸引通路，确保旋转保持部件的圆滑的旋转，并且维持测定精度。在自由嵌合在被搭载于旋转机构(7)的圆筒状的旋转保持部件(3)的外周的管状的外壳(4)的贯通孔(41)连接吸引压力导入部件(5)，旋转保持部件(3)具有吸引孔(34)和元件保持部(35)，具有从基于内部空间的负压室(36)沿放射方向贯通的多个通气孔(38)，在旋转保持部件(3)的外周面或外壳(4)的内周面具备消减滑接面积的凹槽部(43)以及连通多个通气孔(38)和贯通孔(41)的吸引通路槽(42)而构成。

主权项

一种被测光学元件的旋转保持装置，其相对于测定装置的光学系统将被测光学元件以可围着规定的轴旋转的方式保持，其特征在于，该被测光学元件的旋转保持装置具备：搭载于旋转机构的圆筒状的旋转保持部件、自由嵌合在上述旋转保持部件的外周的管状的外壳、及从外部与开口于上述外壳的内周面的贯通孔连接的吸引压力导入部件，上述旋转保持部件具有：开口于旋转中心的一端部的吸引孔、在该吸引孔的外周部保持被测光学元件的元件保持部、基于内部空间的负压室、堵塞该负压室的另一端部并与上述测定装置的光学系统相对的透明部件、及沿放射方向贯通的多个通气孔，在上述旋转保持部件的外周面或上述外壳的内周面具备消减两者的滑接面积的凹槽部、及连通上述旋转保持部件的多个通气孔的外周侧开口部和上述外壳的贯通孔的内周侧开口部的吸引通路槽而构成。