镜面反射表面的形状测量

摘要

提供了一种用于测量镜面反射表面的形状的方法。从位于测量平面处的镜面反射表面中，产生位于目标平面处的目标的表面上所显示的图案。在成像平面处，记录上述反射的图案。镜面反射表面上的多个点相对于成像平面的位置被确定。上述反射的图像上的特征位置与上述图案上的特征位置之间的第一关系被确定。通过将上述多个点的位置用作初始条件，从包括镜面反射表面的表面分布的第二关系以及上述第一关系中确定上述镜面反射表面的形状。

主权项

一种用于测量镜面反射表面的形状的方法，所述方法包括：从位于测量平面处的镜面反射表面中，产生位于目标平面处的目标的表面上所显示的平面几何图案的反射；在成像平面处记录所述反射的图像；确定所述镜面反射表面上的多个点相对于所述成像平面的位置；确定所述反射的图像上的特征位置与所述图案上的特征位置之间的第一关系；以及通过将所述多个点的位置用作初始条件，从包括所述镜面反射表面的表面分布的第二关系以及所述第一关系中确定所述镜面反射表面的形状。