发明名称 |
用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 |
摘要 |
一种用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头,包括:封闭型外壳体,该外壳体包括上层板、中层板和下层板,在上层板与中层板之间形成供气体进入的进气腔室,在中层板和下层板之间形成冷却腔室,进气腔室被分隔成彼此隔离的多个扇形区域。对于每一个扇形区域,在中层板与下层板之间固定有多个导热的细管,细管在外壳体的高度方向上延伸过冷却腔室,且细管的开口端与进气腔室连通,细管的出口端朝向邻近的衬底表面;进气腔室的至少两个扇形区域引入彼此不同的反应气体。本发明可以使不同的反应气体通过扇形区域均匀送入反应室。通过控制衬底旋转速度,可以减少预反应,实现高质量的材料外延生长,也可以通过提高衬底转速,实现普通外延生长模式。 |
申请公布号 |
CN101812673A |
申请公布日期 |
2010.08.25 |
申请号 |
CN201010033960.X |
申请日期 |
2010.01.07 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
胡国新;王晓亮;冉军学;肖红领;殷海波;张露;李晋闽 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王新华 |
主权项 |
一种用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头,包括:封闭型的外壳体,该外壳体包括上层板、中层板和下层板,在上层板与中层板之间形成供气体进入的进气腔室,在中层板和下层板之间形成冷却腔室,其中:进气腔室被分隔成彼此隔离的多个扇形区域,对于每一个扇形区域,在中层板与下层板之间固定有多个导热的细管,细管在外壳体的高度方向上延伸过冷却腔室,且细管的开口端与进气腔室连通,细管的出口端朝向邻近的衬底表面,且进气腔室的至少两个扇形区域引入彼此不同的反应气体。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |