基板检查装置及基板检查方法

摘要

本发明提供基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系统，可以在确保较高的生产性的同时提高产品基板的可靠性。安装检查装置(4)，通过照相机拍摄进行了安装处理的基板，并根据其图像数据检查安装处理是否良好，其中具有：判断部(612)，根据图像数据判断处理是否良好；存储部(613)，存储与检查时序相关的参数及与检查等级相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的参数设定检查时序等的键盘(68)等；和主控制部(611)，控制照相机等，以根据所设定的检查时序及检查等级实施检查。所述设定单元构成为可设定多个检查时序，且可对应各个设定时序单独设定检查等级。

主权项

一种基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了所述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查所述处理是否良好，其特征在于，具有：判断单元，根据通过所述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断所述处理是否良好；存储单元，存储与检查时序相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的所述参数设定检查时序；控制单元，对所述摄像单元及判断单元进行控制，以在通过该设定单元设定的检查时序下，且根据对该检查时序预先设定的检查内容而实施所述检查；所述设定单元，由与检查时序相关的所述参数设定多个时序。