光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，更具体地，本发明涉及一种包含该感光高分子聚合物的光致抗蚀剂组合物，所述感光高分子聚合物的侧链上含有α-重氮-1，3-二酮结构的感光高分子。本发明中将一类侧链上含有α-重氮-1，3-二酮结构的感光高分子聚合物应用于紫外非化学增幅型光致抗蚀剂体系中，通过对感光高分子聚合物中聚合单体的选择，本发明中的抗蚀剂既可为正性抗蚀剂，也可为负性抗蚀剂，具有较高的分辨率。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，包括：1)5-50％重量感光高分子聚合物，其为一种共聚物，包括i)10％至100％以下的式(II)重复单元，其中R₁代表氢或C₁-C₆-烷基；R₂代表其中R₃和R₄各自独立地代表氢、卤素、C₁-C₆-烷基、C₁-C₆-烷氧基，或者代表由C₁-C₆-烷基或C₁-C₆-羟烷基取代或未被取代的氨基；X和Y各自独立地代表O、S或-NR₅，其中R₅代表氢或C₁-C₆-烷基；n代表1-6之间的任一整数；以及ii)余量的一种或多种重复单元，其来源于丙烯酸类、丙烯酸酯类、丙烯酰胺类、苯乙烯类或其混合物，以及2)50-95％重量的溶剂。