| 发明名称 | 光刻机的晶片传送机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光刻机，尤其涉及一种光刻机的晶片传送机构。这种光刻机的晶片传送机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，所述壳体密封连接至一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路。本实用新型通过在壳体接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路，藉由所述抽排管路的吸力将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。 | ||
| 申请公布号 | CN201562122U | 申请公布日期 | 2010.08.25 |
| 申请号 | CN200920214017.1 | 申请日期 | 2009.11.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王睿 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种光刻机的晶片传送机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，其特征在于，所述壳体密封连接至一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管路。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||