LPCVD垂直炉管的石英外管

摘要

本实用新型公开了一种LPCVD垂直炉管的石英外管，顶端为穹顶封闭，所述穹顶边缘切线与直管外表面的夹角不小于150°。所述穹顶与直管的过渡弧面半径为45mm。所述穹顶的球面半径为220mm。本实用新型对石英外管的穹顶形状进行了改进，增大了石英外管穹顶与直管过渡弧面的曲率半径，减小了石英外管顶部曲线的变换幅度，使石英外管的顶部曲线更加圆滑，因而能够减少石英外管管壁工艺薄膜的应力，以减少颗粒掉落的机会。

主权项

一种LPCVD垂直炉管的石英外管，顶端为穹顶封闭，其特征在于：所述穹顶边缘切线与直管外表面的夹角不小于150°。