| 发明名称 | 一种刻蚀液及刻蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种刻蚀液，其成分以其总重量为基准，包括：硝酸铈氨5～30wt％，磷酸10～40wt％，硝酸2～20wt％。采用根据本发明的刻蚀液在刻蚀氧化铟锡电极表面的铝、铬复合金属沉积层的同时，对氧化铟锡电极的损伤较小。 | ||
| 申请公布号 | CN101812688A | 申请公布日期 | 2010.08.25 |
| 申请号 | CN200910105503.4 | 申请日期 | 2009.02.19 |
| 申请人 | 比亚迪股份有限公司 | 发明人 | 舒滔 |
| 分类号 | C23F1/16(2006.01)I;C23F1/20(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种刻蚀液，其成分以其总重量为基准，包括：硝酸铈氨 5～30wt％，磷酸 10～40wt％，硝酸 2～20wt％。 | ||
| 地址 | 518118 广东省深圳市龙岗区坪山镇横坪公路3001号 | ||