全解耦双轴电容式微机械加速度计

摘要

本实用新型涉及一种全解耦双轴电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。加速度计中，立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向折叠梁通过立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向可动电极分别与横向和纵向折叠梁相对固定，横向和纵向固定电极固定在加速度计的基片上，且分别与横向和纵向可动电极的位置相对，横向隔离梁与纵向可动电极相对固定，纵向隔离梁与横向可动电极相对固定，敏感质量块位于由横向和纵向隔离梁围成的方框中，敏感质量块的四角分别与横向和纵向隔离梁相对固定。本实用新型的加速度计，完全解决了双轴电容式微机械加速度计的机械交叉耦合问题，降低了测量误差，实现了对加速度的高精度测量。

主权项

一种全解耦双轴电容式微机械加速度计，其特征在于该加速度计包括敏感质量块、横向隔离梁、横向折叠梁、横向可动电极、横向固定电极、纵向隔离梁、纵向可动电极、纵向固定电极、纵向折叠梁和立柱；所述的立柱固定在加速度计的基片上；所述的横向折叠梁和纵向折叠梁通过立柱固定在加速度计的基片上；所述的横向可动电极和纵向可动电极分别与横向折叠梁和纵向折叠梁相对固定；所述的横向固定电极和纵向固定电极固定在加速度计的基片上，且分别与横向可动电极和纵向可动电极的位置相对；所述的横向隔离梁与纵向可动电极相对固定，所述的纵向隔离梁与横向可动电极相对固定；所述的敏感质量块位于由横向隔离梁和纵向隔离梁围成的方框中，敏感质量块的四角分别与横向隔离梁和纵向隔离梁相对固定。