大行程激光干涉仪垂向测量装置和方法

摘要

一种大行程激光干涉仪垂向测量装置和方法，包括，固定放置于载物台的第一反射镜和第二反射镜；光路切换装置，放置于干涉仪和载物台之间；控制器，和干涉仪以及光路切换装置相连；干涉仪出射的测量光通过输入通道进入光路切换装置，其出射端设置有一排出射孔，由控制器控制所述第一、第二测量光中至少一束从特定的出射孔垂直入射到第二反射镜，并沿原路被反射回，干涉仪出射的第三测量光垂直入射到第一反射镜上并沿原路被反射回，本发明能以高分辨率测量载物台的垂向距离，有效的扩大了可测行程范围。

主权项

一种大行程激光干涉仪垂向测量装置，包括：第一反射镜，固定放置于载物台的一侧边，所述第一反射镜所在平面和所述载物台水平面垂直；第二反射镜，固定放置于载物台，所述第二反射镜所在平面和所述载物台水平面平行或相交成锐角；干涉仪，出射至少三束测量光；该测量装置的特征在于：光路切换装置，放置于所述干涉仪和所述载物台之间；控制器，和所述干涉仪以及所述光路切换装置相连；所述干涉仪出射的第一、第二测量光通过所述光路切换装置的第一、第二输入通道进入所述光路切换装置，所述光路切换装置出射端设置有一排出射孔，由所述控制器控制所述第一、第二测量光中至少一束从特定的所述出射孔垂直入射所述第二反射镜，并沿原路被反射回；所述干涉仪出射的第三测量光垂直入射到所述第一反射镜上并沿原路被反射回；所述干涉仪和所述第一反射镜之间，放置有第三反射镜，所述第三反射镜放置于所述第三测量光的光路上，使得所述第三测量光垂直入射所述第一反射镜，并沿原光路被反射回。